三星蚀刻工艺配方疑泄露至泛林韩国子公司

驱动中国11月9日消息，援引The Elec消息，三星电子半导体蚀刻工艺配方已泄露至美国半导体设备厂商泛林半导体（Lam Research）韩国业务部门，相关未授权数据传输行为已被三星电子察觉。

泛林半导体为三星电子半导体产线供应蚀刻与沉积设备。设备运行过程中产生的数据存储在生产厂区部署的监控服务器及其他系统当中。根据与三星电子达成的协议，泛林半导体获准接收限定范围内的数据，用于设备性能优化与维护。

此前，泛林半导体韩国分公司曾向三星电子提交申请，以获取上述数据。在该业务流程中，属于三星电子未授权对外移交的工艺配方信息被发现以独立文件形式提供给泛林半导体韩国分公司。三星电子于今年下半年察觉该事件。调查结果显示，泛林半导体韩国分公司通过不合规申请，多次发生未授权的数据传输行为。

工艺配方记录设备温度、压力、气体流量、处理时长等生产条件参数，属于承载半导体厂商独有工艺的核心技术资料。一位知情人士表示，三星电子总部层面似乎已将此事定性为一起重大技术泄露事件。

部分业内观察人士认为，此次事件或是近期泛林半导体韩国分公司CEO人事更迭的诱因。泛林半导体韩国分公司于11月6日宣布，任命金泰元（Kim Tae-won）出任新任CEO。2024年1月就任、执掌这家韩国子公司约2年9个月的前CEO朴俊弘（Park Jun-hong）卸任。三星电子与泛林半导体韩国分公司均未回应The Elec的采访问询。