7nm高端DUV买不少！ASML：今年基本交付中国客户预付光刻机积压订单

快科技10月20日消息，ASML（阿斯麦）CEO在2023 Q3业绩电话会上表示，今年基本交付了中国大陆客户预付的DUV积压订单。

不过，叠加出口管制新规，公司明年DUV收入将会减少，总销售收入可能会有所下降。

这位CEO还表示，“受可再生能源、电动汽车、工业物联网、电信基础设施等领域庞大投资驱动，中国大陆对次关键和成熟制程的需求将会很大。”

今年9月初的时候，ASML就已经表示，获得荷兰官方的允许，在今年年底前向中国客户出口其部分先进工具。

按照ASML的说法，在2023年的剩余时间里，ASML将能继续出货其NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品，这些产品从9月1日起就受到限制。

至于2024年是不是可以继续，ASML则表示暂时不能确定。

据ASML官网提供的信息，该公司目前在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款，分别是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML官网上关于这一台TNXT:1980Di介绍，在分辨率方面，写到是大于等于38nm（可以支持到7nm左右），而这是指一次曝光分辨率，事实上光刻机是可以进行多次曝光。